核心技術(shù)-恒功率輸出伏安特性
世界先進(jìn)的恒功率輸出伏安特性,寬廣的電壓電流選擇域
在最佳等離子體工作區域內,精新HiPIMS、磁控濺射以及偏壓電源的載荷能力(荷靶數量)是國內同功率電源的3倍,國外同功率電源的1.5倍。寬廣的恒功率輸出特性可以給用戶(hù)帶來(lái)大量收益:
- 在恒定的功率輸出下,精新電源擁有領(lǐng)先的電流和電壓工作范圍,使得同一臺電源可以適配更多的靶材和工件材料,同時(shí)支持多樣性的工藝流程。
- 載荷能力的提升可以使得同一臺電源可以同時(shí)驅動(dòng)多靶,也就意味著(zhù)一臺電源就可以驅動(dòng)多個(gè)工藝生產(chǎn)線(xiàn),最?化降低單?藝流程成本。舉例來(lái)說(shuō),一臺精新HiPIMS電源可同時(shí)驅動(dòng)三個(gè)單極磁控靶或者三對孿生磁控靶。
精新的HiPIMS、磁控濺射以及偏壓電源都具有優(yōu)異的恒功率輸出特性,歡迎廣大用戶(hù)選購。